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典型渦輪分子泵抽氣系統渦輪分子泵抽氣系統一般不需要用常見(jiàn)的液氮冷阱來(lái)阻止軸承潤滑油或機械泵泵液的返流只要泵是以額定角速度旋轉，那么泵對除很輕的氣體氫以外的所有氣體都具有比較高的壓縮比，足以阻止這些氣體從前級管道端返流到高真空端液氮冷卻的表面不能捕集因壓縮比低而返流到真空室的少量的氫液氮冷阱可用來(lái)提高系統對水蒸氣的抽速，

其很好的安裝位置是在高真空閥的后面，也就是直接設置在渦輪分子泵的喉部上方還可以考慮在高真空閥后面裝一個(gè)三通管，把渦輪分子泵接在它的一個(gè)接口上，而把液氮冷卻的表面接在另一個(gè)接口上而三通的任何兩個(gè)接口之間的流導都要小于液氮冷阱的通導然而要使分子泵對水蒸氣和空氣都具有很大抽速，很佳的安排還是將液氮冷阱安裝在渦輪分子泵和高真空閥門(mén)之間。

渦輪分子泵抽氣系統既不需要用粗抽阱也不需要用前級管道冷阱粗抽與主抽系統之間較高的切換壓力能防止機械泵油通過(guò)粗抽管道遷移到真空室中去，而泵對碳氫化物餾分的高壓縮比也阻止它們從前級管道通過(guò)泵反擴散到真空室中去。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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脈沖激光沉積系統PLD客戶(hù)案例：某大學(xué)電信系脈沖激光沉積系統

1.系統功能：主要用于Mn氧化物等復雜材料膜。

2.渦輪分子泵真空度要求:真空度

3.樣品尺寸:6英寸

4.基片旋轉,加熱溫度：750℃

5.膜生長(cháng)控制模式:鍍率/厚度/時(shí)間控制模式

真空系統配置:超高真空系統配置:渦輪分子泵400

接口:DN100CF-F

極限真空:

氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:

氮氣壓縮比:>1X1011隔膜泵MVP040

口徑:G1/4”

極限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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